半导体制造

[原Micrion设施]）、荷兰埃因霍温（飞利浦电子光学设施）和捷克布尔诺设有制造设施，并在全球提供销售和服务支持。总之，离子束源设计和技术的历史大约已有半个多世纪（自1960年代第一次进行离子簇推进实验以来），而FIB的实验始于1970年代。